防止电子器件氧化的导管

摘要

本发明提供一种防止电子器件氧化的装置，该电子器件例如在半导体封装过程中的半导体基底，其包括：一大体封闭的导管，其具有至少一个规定通道的活动平台，该电子器件可穿越该通道；多个气体输出通道，其引入相对惰性气体进入该导管；传送装置，其用于处理和沿着该提供的导管移动该电子器件；一开口，其沿着部分导管以使得该传送装置和电子器件之间进行处理；驱动装置用于移动该活动平台，该通道的尺寸藉此可调以适合不同的电子器件。

主权项

1、一种防止电子器件氧化的装置，包括：一大体封闭的导管，其具有至少一个规定通道的活动平台，该电子器件可穿越该通道；多个气体输出通道，其能够引入相对惰性气体进入该导管；传送装置，其用于处理和沿着该导管移动该电子器件；一开口，其沿着部分导管以使得该传送装置和电子器件之间进行处理；其中，该装置包含有用于移动该活动平台的驱动装置，该通道的尺寸藉此可调以适合不同的电子器件。