发明名称 一种制备钇钡铜氧高温超导膜的方法
摘要 本发明涉及采用纳米电泳技术制备高温超导钇钡铜氧膜的方法,该方法的步骤包括:将预先烧结好的钇钡铜氧粉末充分研磨成颗粒度在1-100nm范围的纳米颗粒;在制备有隔离层的织构镍片上蒸发一层金属膜,并将其固定在负极上;将钇钡铜氧纳米粉末、碘与有机溶剂按一定比例均匀混合,配制成钇钡铜氧纳米电泳液;将制备的钇钡铜氧纳米电泳液与装有基带的电极放入洗净的电泳池中,在正负电极上通20-900V的直流电,并保持沉积时间5-1800秒钟,这样,在基带上就会沉积一层高度致密均匀的钇钡铜氧纳米超导膜。采用该方法制备的纳米超导膜,性能优良、工艺简单、生长迅速、成本低廉,而且膜厚可以控制,适合工业化应用。
申请公布号 CN1510767A 申请公布日期 2004.07.07
申请号 CN02157978.4 申请日期 2002.12.20
申请人 中国科学院物理研究所 发明人 朱亚彬;周岳亮;王淑芳;刘震;陈正豪;吕惠宾;杨国桢
分类号 H01L39/24;H01L39/12;H01B12/02;C04B35/00;C25D13/02 主分类号 H01L39/24
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人 王凤华
主权项 1、一种制备钇钡铜氧高温超导膜的方法,该方法包括以下步骤:(1)在以MgO为隔离层的镍基带上,用通常的蒸发法沉积一层金属膜做成基片,该金属膜所用的材料包括:Ag、Pt、Au、Cu、Ir、Al、Pd,将该基片固定在负极上做成负电极片,放在干净的器皿中备用;(2)将烧结好的YBa2Cu3O7-δ粉末充分研磨,使颗粒的尺寸在微米量级,再用高能球磨法制备颗粒度在1-100nm范围的纳米颗粒;(3)将YBa2Cu3O7-δ纳米粉末与声机溶剂混合,混合比例为2-40克/升,再加入20-500毫克的典,然后搅拌或用超声分散法使YBa2Cu3O7-δ在有机溶剂内完全分散均匀,配制成YBa2Cu3O7-δ纳米电泳液;(4)将步骤(3)配置的YBa2Cu3O7-δ纳米电泳液放入洗净的电泳池中,再次搅拌或使用超声分散法使之均匀; (5)将步骤(1)制备的负电极片与正电极一起放入电泳池中,然后与一20-900V的高压直流电源电连接,并保持通电沉积5-1800秒钟,在基带上沉积一层均匀、高度致密的YBa2Cu3O7-δ超导膜;(6)将沉积好的YBa2Cu3O7-δ超导膜放在烧结炉中,炉温以200-600度/小时的速度升温到750-1050℃,并保温5-1200分钟,然后,以1-100度/小时的降温速度降至室温,得到超导性能优良的YBa2Cu3O7-δ纳米超导膜。
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