高分辨率气量计式接近传感器

摘要

一种用来精确检测一测量探头及一表面之间的非常小距离的位置及方法，尤其是一种接近传感器，其使用一恒定气流且感知一气动桥接内的质量流动率，以检测非常小的距离。在此装置内，以多孔材料制成的流量限制器及/或缓冲器及/或质量流动率控制器的使用致使非常小距离的检测在纳米至次纳米范围内。另一实施例，其中一接近传感器的测量通道系连接至多测量分支。

主权项

1.一种气量计式接近传感器，用来感知一参考表面间隙与一测量表面间隙之间的差，其包含：一交汇处，其将输入该气量计式接近传感器的气体划分至一参考通道及一测量通道；一第一多孔流量限制器，其沿着参考通道配置，其中，该第一多孔流量限制器均匀地限制穿过参考通道的气流；一第二多孔流量限制器，其沿着测量通道配置，其中，该第二多孔流量限制器均匀地限制穿过测量通道的气流；一参考探头，其位于参考通道的一端，因此，气体经由参考探头而离开参考通道，并行进跨过一参考间隙，以冲击在一参考表面上；一测量探头，其位于测量通道的端，因此，气体经由测量探头而离开测量通道，并行进跨过一测量间隙，以冲击在一测量表面上；及一质量流量传感器，其连接于参考及测量通道之间，用来感知其间的气流的量，因此，参考与测量表面之间的间隙差可在一高灵敏度下被感知。