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发明名称
摘要
申请公布号 JP3539417(B2) 申请公布日期 2004.07.07
申请号 JP20010349194 申请日期 2001.11.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/12;H01L29/41;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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