基板位置偏差检测装置及基板位置偏差检测方法

摘要

本发明提供用非接触的简单的结构，可准确地检测出基板位置偏差的基板位置偏差检测装置和基板位置偏差检测方法。通过向基板表面配设的导电图形供电的供电部(3)，向基板(20)表面的导电图形(25)提供交流信号，让基板(20)沿箭头A方向移动，从基板位置偏差传感器(1)、(2)的交流信号的检测信号的输出电平正好在中间电平时的时间差和基板输送速度，检测出基板的位置偏差程度。

主权项

1.一种基板位置偏差检测装置，其特征在于，可检测与表面配设有导电图形的基板的输送方向大致垂直的方向上的位置偏差的基板位置偏差检测装置，该装置具有下述装置：与所述配设在基板表面的导电图形的输送方向的前方端部距有一定距离、在至少有2处的预定位置、与基板表面配设的导电图形以非接触方式进行电容耦合的图形端部检测装置，从所述导电图形的其他部位，向所述输送方向的前方端部提供交流信号的信号提供装置，通过各所述图形端部检测装置，检测出所述信号提供装置提供的交流信号的检测时间偏差，从而检测出被输送的检查基板的位置偏差的位置偏差检测装置，所述信号提供装置，在所述检查基板至少是所述输送方向前方端部到达所述图形端部检测装置的位置时，提供所述交流信号，所述位置偏差检测装置是将检测信号的相差比例作为所述检查基板的倾斜比例。