发明名称 CERIUM-BASED ABRASIVE AND PRODUCTION PROCESS THEREOF
摘要
申请公布号 KR20040062417(A) 申请公布日期 2004.07.07
申请号 KR20037007227 申请日期 2003.05.29
申请人 发明人
分类号 C09K3/14;C01F17/00;C03C19/00;C09G1/02;H01L21/302;H01L21/3105;H01L21/461 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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