| 发明名称 |
MICROMECHANICAL COMPONENT (ON PRESSURE SENSOR MEMBRANE) COMPRISING A BELLOWS-TYPE STRUCTURE FOR TEMPERATURE SHIFTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1434978(A1) |
申请公布日期 |
2004.07.07 |
| 申请号 |
EP20020774395 |
申请日期 |
2002.09.20 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
BENZEL, HUBERT;WEBER, HERIBERT;SCHAEFER, FRANK |
| 分类号 |
G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L19/04;G01L7/08 |
主分类号 |
G01L9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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