| 发明名称 |
Method of grinding semiconductor articles |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0985494(B1) |
申请公布日期 |
2004.07.07 |
| 申请号 |
EP19990116116 |
申请日期 |
1999.08.18 |
| 申请人 |
DISCO CORPORATION |
发明人 |
KANEDA, YUKIHIRO;TAKIZAWA, SHUICHI |
| 分类号 |
B24B7/22;H01L21/304;H01L21/78;(IPC1-7):B24B7/22;B24B37/04;B24B41/06 |
主分类号 |
B24B7/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
