刻板基材之承载治具、刻板基材之制作方法以及光碟母板之制作方法

摘要

一种刻板基材之承载治具，适于固定一基材。此基材具有一中心贯孔，且基材上已配置有一光阻层，其主要系由一治具本体、一配重装置以及一中心锁固构件所构成。其中，治具本体具有一基材定位凹槽，此基材定位凹槽的中心位置上具有一凸起，且凸起的位置系偏离治具本体一形心位置；配重装置系可活动地配置于治具本体上，用以使得承载有基材之治具本体的重心维持在承载治具的形心位置上；而中心锁固构件可与上述之凸起结合，以将基材锁固于基材定位凹槽中。此外，本发明藉由上述之承载治具进行刻板基材以及后续之光碟母板的制作。