| 摘要 |
本案揭示一种用以制造半导体晶片之分配器装置，其容易地达成微分配及高速点化过程且精确地排出一溶液。该分配器装置包含：一主体，与包括一机械臂单元的移动单元组装；及一壳部，经由一连接管与装有一黏度溶液的注入容器相通，且与主体可拆卸地组装。一连接轴，与容纳于壳部中之下螺栓及具有形成在连接轴的下部的轴环之螺杆整合。一平衡控制器，与连接轴的上部轴向地组装，以控制螺杆的水平及垂直移动；及一针构件，同拆卸地与壳部的下部组装。再者，一伺服马达，系安装在主体上，且具有藉一联结构件而连接至螺杆的连接轴之驱动轴，以控制螺杆的旋转。 |
