静电夹具

摘要

一种静电夹具，静电夹具(100)之电极图案(3)具有朝半径方向之直线部(31a、31b)，藉由从该直线部(31a、31b)以枝状延伸出之复数C字形部(32a、32b)之形状，该直线部(31a、31b)位于互相相对且形成直径方向之大致一直线上，前述C字形部(32a、32b)形成复数同心圆图案，且形成互相交织入梳齿状。