沉积室之部件结构

摘要

一种沉积室之部件结构，具有一外壳、位于外壳内的一压环以及一螺杆，这个螺杆穿过外壳接触压环，用以释放压环所累积的电荷。此外，外壳还包括一绝缘部份环绕螺杆，以隔绝螺杆与外壳，其中螺杆的可允许之角度变化大于23.2。