具低液晶显示萤幕闪烁缺陷之薄膜电晶体形成方法

摘要

本发明降低液晶萤幕闪烁之方法，系于传统之薄膜电晶体绝缘层制程完成后，于进行主动层成长前，加入一电浆处理步骤，利用分别具氢成分和氮成分之电浆来改善绝缘层与主动层间之介面，以增加保持电容之电容量，提升液晶品质。