供形成高清晰度孔径之涂层

摘要

一种用于暗孔的光学薄膜堆叠，系以热离子协助沈积("IAD")法沈积。该IAD提供一种铬和氧化铬的高能沈积，使暗镜光学薄膜堆叠具有优良的蚀刻特性。边缘定义得到了改良，边缘外形可以藉由选择IAD参数加以控制。一种就地IAD清洁制程可用以充分地清洁基材，因而不再需要铬中间黏接层。