发明名称 | 探针检测装置 | ||
摘要 | 一种探针检测装置,调整光纤射出之光线打在探针之悬臂前端位置,以提高光侦测之灵敏度,包括:一固定座,具有一第一位置以及一第二位置;一光纤连接器,设置于上述固定座,用以发出光线;一探针基座,以可滑动方式设置于上述固定座之上述第一位置与上述第二位置之间,其中上述探针基座具有一通孔,上述光纤连接器通过上述通孔;一探针,以悬臂方式设置于上述探针基座。 | ||
申请公布号 | TW200411168 | 申请公布日期 | 2004.07.01 |
申请号 | TW091137444 | 申请日期 | 2002.12.26 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 施能谦;张贵凯;陈灿林 |
分类号 | G01N21/88 | 主分类号 | G01N21/88 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 新竹县竹东镇中兴路四段一九五号 |