微影装置及制造元件之方法

摘要

一线圈20系使用在一微影投影装置之一致动器中。该线圈20系由一导电性片材之带体21卷绕一绕轴22所构成。片材之带体21的各别匝圈系由一非导电性层体25所隔开。