微影装置及装置制造之方法

摘要

本发明揭示一种微影装置，特别系关于一种使用一空间光调变器(5)之微影装置，其中该投影系统(PL)包含一构件(10)，其用于将图案化的光束(4)分成图案化的光束片段(12、15)并将这些光束片段投影在基板(27)的分离目标部分(25、26)。