精密定位装置及其方法

摘要

本发明揭示一种精密定位装置及其方法，该装置包含一固定平台、一移动平台、一连接该固定平台及该移动平台之驱动装置、以及一定位组件，其使用全像干涉技术测定该移动平台与该固定平台之相对距离。该定位组件包含一设置于该固定平台上之光源、一设置于该固定平台上之分光镜、一设置于该移动平台上之全像元件，以及一设置于该移动平台上之光电转换元件。