精密气压缸配重装置及其控制方法

摘要

本发明为一种精密气压缸配重装置及其控制方法，系藉由一自动化调整气压之调压回路及控制流程，可以节省伺服轴的输出推力、加工机的开机时间，更换负载的调整时间与提升加工精度；藉由内建的煞车制动器及煞车伺服阀可在误动作、低气压或低电源时有效的保护机台与工件，提高安全性；另藉由闭锁伺服阀可以在超精密行程动作时提供机台额外的动态刚性。