缺陷影像分类方法及系统

摘要

一种缺陷影像分类方法，使用于晶圆／光罩检测过程。晶圆／光罩缺陷分类是一种根据预定的规则，针对侦测到的晶圆／光罩缺陷影像做复检和分类的程序。本发明之缺陷分类方法自晶圆／光罩撷取缺陷影像，接着将缺陷影像数位化以进行影像校正，最后将校正后的影像与资料库中之缺陷影像做影像比对，以对缺陷影像进行分类。