电浆蚀刻方法

摘要

一种电浆蚀刻方法，系用以蚀刻一基材，该基材具有至少一树脂层、以及至少一覆盖于该树脂层之一面上的铜层；该铜层具有一曝露的表面，且该铜层具有至少一开口自该表面通贯至该树脂层；该方法包含下列步骤：一、以该铜层之该表面接触一可与铜产生氧化反应之化学药剂，使该表面产生一层氧化层膜；二、利用一般已知以含氧之气体作为电浆形成气体之电浆蚀刻方法，除去相对于该开口处之树脂材料。