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Erfindungsgemäß umfasst ein Kohärenzmikroskop eine zeitlich inkohärentes Licht abgebende Lichtquelle (1). Außerdem umfasst das konfokale Kohärenzmikroskop einen Aufteiler (3) zum Aufteilen des von der Lichtquelle (1) abgegebenen Lichtes in Messlicht, welches einer Probe (13) zugeleitet und von dieser reflektiert wird, und Referenzlicht. Weiterhin sind eine Überlagerungseinrichtung (25, 31) zum räumlichen Überlagern des von der Probe (13) reflektierten Messlichtes mit dem Referenzlicht und eine Sensorzeile (41) zum Detektieren des aus der Überlagerung resultierenden Lichtes, welche derart ausgelegt ist, dass sie eine Ausleserate von mindestens ca. 60 kHz ermöglicht, vorhanden. Um derartige Ausleseraten zu erzielen, können insbesondere kurze Sensorzeilen (41) mit höchstens etwa 1000 Sensorelementen, beispielsweise CCD-Elementen (CCD: Charge Coupled Device), und insbesondere sehr kurze Sensorzeilen (41) mit höchstens etwa 500 Sensorelementen Verwendung finden. Die Überlagerungseinrichtung weist eine Abstrahleinrichtung (25, 31) zum Abstrahlen des Messlichtes und des Referenzlichtes auf, die derart ausgebildet und relativ zur Sensoranordnung (41) angeordnet ist, dass eine ausgedehnte Bestrahlung mindestens eines Teils der Sensoranordnung (41) mit überlagertem Licht erfolgt und das Verhältnis der von dem Messlicht und dem Referenzlicht von der Abstrahleinrichtung (25, 31) bis zum jeweiligen Auftreffpunkt auf der Sensoranordnung (41) zurückgelegten Wegstrecken im mit ...
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