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经营范围
发明名称
Trench filling methods
摘要
申请公布号
GB0411952(D0)
申请公布日期
2004.06.30
申请号
GB20040011952
申请日期
2004.05.28
申请人
TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED
发明人
分类号
H01L21/76;H01L21/762
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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