发明名称 SUSCEPTOR SYSTEM
摘要
申请公布号 AU2002368438(A1) 申请公布日期 2004.06.30
申请号 AU20020368438 申请日期 2002.12.10
申请人 ETC SRL 发明人 GIACOMO, NICOLAO MACCALLI;OLLE KORDINA;GIANLUCA VALENTE;DANILO CRIPPA;FRANCO PRETI
分类号 C22C29/04;C23C16/46;C30B25/12;C30B31/14;F27B14/06;F27B14/14;F27B17/00;H01L21/00;H05B6/02;(IPC1-7):C23C16/46;C30B25/10;C30B31/12 主分类号 C22C29/04
代理机构 代理人
主权项
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