发明名称 Photoresist copolymer, process for preparing the same and photoresist composition comprising the same
摘要
申请公布号 GB2345286(B) 申请公布日期 2004.06.30
申请号 GB19990029650 申请日期 1999.12.15
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 JAE-CHANG * JUNG;KEUN KYU * KONG;MIN HO * JUNG;GEUN SU * LEE;KI HO * BAIK
分类号 G03F7/004;C07C69/54;C08F22/10;C08F220/28;C08F222/06;C08F230/00;G03F7/039;(IPC1-7):C07C69/602;C08F22/14 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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