| 发明名称 | 微机电式法布里－珀罗装置制造方法 | ||
| 摘要 | 一种微机电式法布里－珀罗装置制造方法，包含如下步骤：提供二不同基材，并以薄膜沉积方法于该基材表面的预定区域形成沉积物，再结合该沉积物间隔该不同基材。于进行薄膜沉积时以一膜厚监控器精确控制该沉积物的厚度，使介于二基材中间的沉积物的厚度等于该法布里－珀罗装置的所需间距。 | ||
| 申请公布号 | CN1508581A | 申请公布日期 | 2004.06.30 |
| 申请号 | CN02156667.4 | 申请日期 | 2002.12.17 |
| 申请人 | 台达电子工业股份有限公司 | 发明人 | 张绍雄;张起豪 |
| 分类号 | G02B6/26;G02B6/293;G02B6/132 | 主分类号 | G02B6/26 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程伟;王初 |
| 主权项 | 1.一种微机电式法布里-珀罗装置制造方法，其特征在于：其能精确定位二平行构件以符合一所需间距，该制造方法包含如下步骤：提供二基材；于该二基材表面的预定区域形成沉积物；利用一膜厚监控器控制该沉积物的厚度；及结合该沉积物间隔该二基材；其中该二基材间的该沉积物厚度与该所需间距相等。 | ||
| 地址 | 中国台湾 | ||