基于压电柱的弯曲振动超声波微电机

摘要

本发明属于超声应用领域，涉及一种基于压电柱的弯曲振动模态超声波微电机，包括激励超声振动的定子，输出力矩的转子/轴以及给转子加压的预压力机构，所说的定子主要由激励振动的压电陶瓷元件以及匹配块构成，其特征在于，所说的激励弯曲振动的压电陶瓷元件为压电柱，其外壁涂有四个均匀分布的供极化和激励振动所用的外电极。本电机可加工的尺寸为0.2mm到3mm之间，大大的促进了超声电机的微型化。在输入电信号峰峰值约10V时，转子可以在定子表面上明显转动起来。本发明将在生物、医疗、微机械、国防科技等方面有着广阔的应用前景。

主权项

1、一种基于压电柱的弯曲振动模态超声波微电机，包括激励超声振动的定子，输出力矩的转子/与转子连成一体的轴以及给转子加压的预压力机构，所说的定子主要由激励振动的压电陶瓷元件以及定子匹配块构成，其特征在于，所说的激励弯曲振动的压电陶瓷元件为压电陶瓷圆柱，其外壁涂有四个均匀分布的供极化和激励振动所用的外电极，所述四个电极同时分别加正弦、余弦、反向正弦、反向余弦四路交流电信号，激励该压电柱产生所需的弯曲摇头振动。