发明名称 宽带隙半导体中的功率器件
摘要 本发明描述了一优选器件,它包括在结隔离衬底或半绝缘衬底(例如碳化硅)上制造的诸如超大功率开关器件的半导体器件。
申请公布号 CN1156017C 申请公布日期 2004.06.30
申请号 CN98806520.7 申请日期 1998.06.23
申请人 小詹姆斯·艾伯特·库珀;迈克尔·R·梅洛奇;贾亚拉玛·谢诺伊;简·斯皮茨 发明人 小詹姆斯·艾伯特·库珀;迈克尔·R·梅洛奇;贾亚拉玛·谢诺伊;简·斯皮茨
分类号 H01L29/78;H01L29/739;H01L29/24 主分类号 H01L29/78
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王永刚
主权项 1.功率开关器件,包括:衬底(12);邻近上述衬底(12)的漂移区层(13);在该漂移区层(13)内提供的源区(14),漏区(15)和沟道区(16),其中所述沟道区(16)包围所述源区(14)的下边界;上述沟道区(16)上的绝缘层(17);以及邻近上述绝缘层(17)的栅(18),其特征在于上述衬底(12)是半绝缘衬底。
地址 美国印第安纳州