发明名称 FERROELECTRIC CAPACITOR AND PROCESS FOR ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 AU2003282769(A1) 申请公布日期 2004.06.30
申请号 AU20030282769 申请日期 2003.11.24
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BUM-KI MOON;GERHARD BEITEL;OSAMU ARISUMI;HIROSHI ITOKAWA
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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