| 发明名称 |
SURFACE POSITION DETECTION APPARATUS, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE PORDUCING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003289272(A1) |
申请公布日期 |
2004.06.30 |
| 申请号 |
AU20030289272 |
申请日期 |
2003.12.09 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
HIDEO MIZUTANI;NOBUTAKA MAGOME;SOICHI OWA;YASUHIRO HIDAKA |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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