发明名称 Projection optical system as well as equipment and methods making use of said system
摘要
申请公布号 EP1093021(A3) 申请公布日期 2004.06.30
申请号 EP20000122217 申请日期 2000.10.16
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 OMURA, YASUHIRO
分类号 G02B17/06;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G02B17/06
代理机构 代理人
主权项
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