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发明名称 RARE EARTH SALT OXIDIZER BASED CMP METHOD
摘要
申请公布号 EP1432773(A1) 申请公布日期 2004.06.30
申请号 EP20020757659 申请日期 2002.09.06
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 MOEGGENBORG, KEVIN, J.;BRUSIC, VLASTA;CHERIAN, ISAAC, K.
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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