发明名称 SINGLE ELECTRON TRANSISTOR WITH VERTICAL CHANNEL, AND PRODUCTION METHODS THEREOF
摘要
申请公布号 EP1433206(A1) 申请公布日期 2004.06.30
申请号 EP20020800173 申请日期 2002.10.02
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 FRABOULET, DAVID;DELEONIBUS, SIMON
分类号 H01L29/76;H01L21/335;H01L21/336;H01L29/08;H01L49/00;(IPC1-7):H01L29/76 主分类号 H01L29/76
代理机构 代理人
主权项
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