发明名称 ELECTROLYTIC PROCESSING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1432852(A2) 申请公布日期 2004.06.30
申请号 EP20020772846 申请日期 2002.09.11
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 KOBATA, ITSUKI;SHIRAKASHI, MITSUHIKO;KUMEKAWA, MASAYUKI;SAITO, TAKAYUKI;TOMA, YASUSHI;SUZUKI, TSUKURU;YAMADA, KAORU;MAKITA, YUJI;YASUDA, HOZUMI;NOJI, IKUTARO;FUJIWARA, KUNIO;NABEYA, OSAMU
分类号 B23H5/08;C08F2/58;C23F3/00;C23G3/00;C25F1/00;C25F3/00;C25F7/00;H01L21/321;H01L21/3213;(IPC1-7):C25F1/00 主分类号 B23H5/08
代理机构 代理人
主权项
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