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经营范围
发明名称
ELECTROLYTIC PROCESSING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号
EP1432852(A2)
申请公布日期
2004.06.30
申请号
EP20020772846
申请日期
2002.09.11
申请人
EBARA CORPORATION
发明人
KOBATA, ITSUKI;SHIRAKASHI, MITSUHIKO;KUMEKAWA, MASAYUKI;SAITO, TAKAYUKI;TOMA, YASUSHI;SUZUKI, TSUKURU;YAMADA, KAORU;MAKITA, YUJI;YASUDA, HOZUMI;NOJI, IKUTARO;FUJIWARA, KUNIO;NABEYA, OSAMU
分类号
B23H5/08;C08F2/58;C23F3/00;C23G3/00;C25F1/00;C25F3/00;C25F7/00;H01L21/321;H01L21/3213;(IPC1-7):C25F1/00
主分类号
B23H5/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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