气体微水监测方法及装置

摘要

本发明属于气体含微水量测定技术，其方法是利用红外激光照射被测气体，光电探测器接收产生电信号；当被测气体中含水份时，部分红外激光被水分子吸收使透射到光电探测器上的红外光强度减弱，光电探测器输出减弱的信号并显示，当被测气体中无水份时，透射到光电探测器上的红外光强度不变，光电探测器输出光强度不变的信号并显示，从而完成了对被测气体含微水的监测。本发明的优点采用室温工作，红外激光二级管做光源，室温工作红外探测器作接收器，由于红外激光二极管发射的红外光具有波长半宽极窄和光强很强的特点，因而利用本发明方法制作的装置检测精度和灵敏度高。气体分子对光的吸收过程极快，所以本发明具有测量快捷方便，可在线监测等优点。

主权项

1、气体微水监测方法，其特征在于：本发明采用红外光电传感技术来测量高纯气体中的含水量，利用红外激光照射被测的气体，由光电探测器接收后将产生一电信号，电信号经信号放大后显示；当在透红外管道中被测气体含水份时，部分红外激光被水分子吸收使透射到光电探测器上的红外激光光强度减弱，并由探测器输出红外激光光强度减弱的信号并显示，当在透红外管道中被测气体无水份时，透射到光电探测器上的红外激光光强度不变，光电探测器输出红外激光光强度信号并显示，从而完成了对被测气体含微水的监测。