半导体泵浦全固体激光多功能电子散斑干涉仪

摘要

本实用新型涉及一种半导体泵浦全固体激光多功能电子散斑干涉仪，包括测量装置及处理测量数据的计算机构成，其特点是，测量装置包括箱体、激光源、光路部件、成像部件、分光器件；激光源设置在箱体内前部；光路部件由若干个反射镜、一分光棱镜以及若干个扩束镜组件组成；成像部件由设置在箱体后部内的摄像头和设置在箱体后部外的成像镜前、后对应设置构成；摄像头的信号输出端通过数据总线与计算机的输入端连接；分光器件设置在成像镜前端部。更换或改变光路部件中个别元件的位置，由摄像头获取被测件的图像，输入计算机中程序处理，可测得物体变形后的高精度离面位移、面内位移、离面位移梯度；在屏幕上显示干涉条纹，使用方便，功能强。

主权项

1、一种半导体泵浦全固体激光多功能电子散斑干涉仪，由测量装置及处理测量数据的计算机构成，该计算机的输入端通过数据总线与测量装置的输出端连接；其特征在于：所述的测量装置包括箱体、激光源、光路部件、成像部件、分光器件；所述的激光源设置在箱体内前部；所述的光路部件由设在箱体内的若干个反射镜、一分光棱镜以及设在箱体外的若干个扩束镜组件组成；其中：第一反射镜间隔设置在激光源的激光输出端一侧，该反射镜中心与激光输出端在同一光轴线上；一分光棱镜与第二反射镜前、后对应间隔设置在第一反射镜后部，该分光棱镜与第二反射镜的中心在同一光轴线上；第三反射镜与第四反射镜横向对应间隔设置在第二反射镜右侧，该第三反射镜中心与第四反射镜的中心在同一光轴线上；第五反射镜对应间隔设置在第四反射镜后部，该第五反射镜中心与第四反射镜的中心在同一光轴线上；第七反射镜对应间隔设置在分光棱镜的左侧，该第七反射镜中心与分光棱镜的中心在同一光轴线上；第八反射镜对应间隔设置在第七反射镜后部，该第八反射镜中心与第七反射镜的中心在同一光轴线上；所述的设在箱体外的若干个扩束镜组件，其中：第一扩束镜组件由第一扩束镜与第六反射镜构成，第一扩束镜和第六反射镜横向对应间隔设置在箱体外右侧，并且第一扩束镜的圆心与设置在箱体内的第五反射镜的中心在同一条光轴线上；第二扩束镜组件由第二扩束镜与第九反射镜构成，第二扩束镜与第九反射镜横向对应间隔设在箱体外左侧，并且第二扩束镜的圆心与设置在箱体内的第八反射镜的中心在同一光轴线上；第三扩束镜组件由第三扩束镜与第十反射镜构成，第三扩束镜与第十反射镜构前、后对应间隔设置在箱体后部外，并且第三扩束镜的圆心与设置在箱体内的第三反射镜的中心在同一条光轴线上；所述的成像部件由设置在箱体内后部的摄像头和设置在箱体外的成像镜前、后对应设置构成；摄像头的信号输出端通过数据总线与计算机的输入端连接；所述的分光器件设置在成像镜的前端部。