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发明名称 METHOD FOR REMOVING AT LEAST ONE AREA OF A LAYER OF A COMPONENT CONSISTING OF METAL OR A METAL COMPOUND
摘要
申请公布号 EP1432847(A1) 申请公布日期 2004.06.30
申请号 EP20020730264 申请日期 2002.05.17
申请人 SIEMENS AG 发明人 CZECH, NORBERT;JEUTTER, ANDRE;KEMPSTER, ADRIAN;REICHE, RALPH;WILKENHOENER, ROLF
分类号 B23P6/00;C23C10/04;C23C10/30;C23C10/60;C23F1/00;C23F4/00;C23G5/00;F01D5/00;F01D5/28;(IPC1-7):C23G5/00 主分类号 B23P6/00
代理机构 代理人
主权项
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