| 发明名称 |
METHOD OF MAKING A QUASI-CIRCULAR DIFFRACTION GRATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PL187365(B1) |
申请公布日期 |
2004.06.30 |
| 申请号 |
PL19980328191 |
申请日期 |
1998.08.24 |
| 申请人 |
INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ |
发明人 |
MROZIEWICZ BOHDAN |
| 分类号 |
G02B5/18;G02B27/44;H01L21/428;H01L21/64;H01S5/02 |
主分类号 |
G02B5/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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