| 发明名称 |
Device for x-ray lithography |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2001250703(B2) |
申请公布日期 |
2004.06.24 |
| 申请号 |
AU20010250703 |
申请日期 |
2001.04.03 |
| 申请人 |
MURADIN KUMAKHOV |
发明人 |
MURADIN ABUBEKIROVICH KUMAKHOV |
| 分类号 |
G21K5/00;G03B42/02;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/02;H01L21/027;(IPC1-7):G21K005/00;G03B042/02 |
主分类号 |
G21K5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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