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发明名称 Vorrichtung zum Polieren von Halbleiterscheiben
摘要
申请公布号 DE69823957(D1) 申请公布日期 2004.06.24
申请号 DE19986023957 申请日期 1998.11.11
申请人 LAM RESEARCH CORP., FREMONT 发明人 ENGDAHL, ERIC H.;FERRI, EDWARD T. JR.;KRUSELL, WILBUR C.;JAIRATH, RAHUL;GREEN, RANDALL L.;PANT, ANIL
分类号 B24B21/04;B24B21/10;B24B37/04;B24B41/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;(IPC1-7):B24B37/04;B24B21/20 主分类号 B24B21/04
代理机构 代理人
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