| 发明名称 |
Vorrichtung zum Speichern und Bewegen einer Kassette |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60100575(T2) |
申请公布日期 |
2004.06.24 |
| 申请号 |
DE2001600575T |
申请日期 |
2001.03.02 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
NULMAN, JAIM;SIDI, NISSIM |
| 分类号 |
B65G1/00;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):G05D3/00 |
主分类号 |
B65G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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