Verfahren und Aufdampfung von Verbindung(en) auf einen Träger

摘要

Verfahren zur Aufdampfung von Verbindung(en) auf einen Träger, dadurch gekennzeichnet, dass man DOLLAR A (i) die Verbindung in festem Zustand in einen Trägergasstrom einbringt, DOLLAR A (ii) die Verbindung in dem Trägergasstrom in den gasförmigen Zustand überführt und DOLLAR A (iii) die gasförmige Verbindung auf dem Träger niederschlägt.