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发明名称 Apparatus for treating surfaces of a substrate with atmospheric pressure plasma
摘要
申请公布号 AU2003279587(A8) 申请公布日期 2004.06.23
申请号 AU20030279587 申请日期 2003.11.19
申请人 SEM TECHNOLOGY CO., LTD 发明人 HAG-JOO LEE
分类号 C23C16/50;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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