| 发明名称 |
MODULAR CARRIER FOR SEMICONDUCTOR WAFER DISKS AND SIMILAR INVENTORY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1429976(A1) |
申请公布日期 |
2004.06.23 |
| 申请号 |
EP20020766139 |
申请日期 |
2002.08.27 |
| 申请人 |
ENTEGRIS, INC. |
发明人 |
NIGG, JAMES;HENDERER, RALPH |
| 分类号 |
B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):B65D85/48 |
主分类号 |
B65D85/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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