| 发明名称 | 激光加工方法 | ||
| 摘要 | 一种通过对工件施加激光束来对工件进行加工的激光加工方法，包括：保护膜涂覆步骤，其中在工件的待加工表面上涂覆保护膜；激光束照射步骤，其中经由保护膜来对工件施加激光束；以及保护膜去除步骤，其中在完成激光束照射步骤后去除保护膜。 | ||
| 申请公布号 | CN1506187A | 申请公布日期 | 2004.06.23 |
| 申请号 | CN200310123959.6 | 申请日期 | 2003.12.15 |
| 申请人 | 株式会社迪斯科 | 发明人 | 关家一马 |
| 分类号 | B23K26/18;H01L21/78;H01L21/304;B28D5/00 | 主分类号 | B23K26/18 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 章社杲 |
| 主权项 | 1.一种通过对工件施加激光束来对所述工件进行加工的激光加工方法，所述方法包括：保护膜涂覆步骤，其中在所述工件的待加工表面上涂覆保护膜；激光束照射步骤，其中经由所述保护膜来对所述工件施加激光束；和保护膜去除步骤，其中在完成所述激光束照射步骤后去除所述保护膜。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||