检测修复系统及检测修复方法

摘要

本发明提供一种检测修复系统包含一光学显微放大器、一影像撷取器、一微光子检测器、一处理控制器、及一高能光束产生器。检测修复系统于检测缺陷位置时，将一有机发光装置的待检测区域通以负向偏压，并利用微光子检测器于放大的影像中检测出产生微光现象的缺陷位置；且利用高能光束产生器来产生一高能光束，该高能光束用以将某一缺陷位置隔离。另，本发明更提供一种检测修复方法。

主权项

1.一种检测修复系统，其用以检测、修复一有机发光装置(device)，其特征在于，该检测修复系统包含：一光学显微放大器，用以将该有机发光装置的待检测区域影像放大；一影像撷取器，与该光学显微放大器连结，并撷取该光学显微放大器所放大的影像；一微光子检测器，与该光学显微放大器连结，并自该光学显微放大器所放大的影像中检测出产生微光现象的缺陷位置；一处理控制器，分别与该影像撷取器与该微光子检测器电性连结，用以储存该影像撷取器所撷取的放大影像及该微光子检测器所检测出的缺陷位置，且依据其所储存的放大影像以及缺陷位置资料产生一第一控制讯号；以及一高能光束产生器，与该处理控制器电性连结，且与该光学显微放大器连结，该高能光束产生器依据该第一控制讯号来产生一用以将某一缺陷位置隔离的高能光束，该高能光束经由该光学显微放大器射出。