压电部件的制造方法及压电部件

摘要

本发明涉及压电部件的制造方法及压电部件。提供一种通过用树脂薄膜可靠地将安装基板及弹性表面波元件密封而可以提高可靠性、实现小型化、且能以低廉的成本制造的弹性表面波装置的制造方法及弹性表面波装置。在具有外部端子7的安装基板1上通过凸起3按倒装芯片接合法安装了弹性表面波元件2之后，用树脂薄膜10覆盖上述弹性表面波元件2，并使上述树脂薄膜10的一部分覆盖在安装于上述安装基板1上的弹性表面波元件2的周围而将弹性表面波元件2密封。然后，使上述树脂薄膜10固化并制成弹性表面波装置。

主权项

1.一种压电部件的制造方法，其特征在于：包括在基板上形成具有振动部及凸起的压电元件的工序、在具有外部端子的安装基板上以使上述振动部与安装基板相对的方式通过凸起按倒装芯片接合法安装多个上述压电元件的安装工序、将树脂薄膜配置在安装了上述压电元件的安装基板上的配置工序、通过将上述树脂薄膜埋入到安装于上述安装基板上的相互邻接的压电元件之间而将上述压电元件密封的密封工序、使上述树脂薄膜固化的固化工序、切割上述安装基板而取出各个压电部件的分割工序，上述密封工序，包括用压辊将树脂薄膜加热软化并同时进行加压的热压接工序。