Arc evaporation device,申请号AU20030289933-传众专利搜索

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发明名称	Arc evaporation device
摘要
申请公布号	AU2003289933(A8)	申请公布日期	2004.06.23
申请号	AU20030289933	申请日期	2003.12.02
申请人	PVT PLASMA UND VAKUUMTECHNIK GMBH	发明人	HERMANN CURTINS
分类号	C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	C23C14/32
代理机构		代理人
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