提升式干燥方法以及干燥装置

摘要

本发明的目的是提供一种新式的干燥方法以及干燥装置，在干燥半导体装置以及液晶板的基片等的干燥装置中，可以减少在干燥时产生污染的危险性，而且能够减少设备成本以及设置面积，并且能够进行成批处理。在提升槽10的上边缘的4个边中的相对的一对边比其它的边低，从而成为溢流部10a以使内部的水溢流并排到排水槽20中。在提升槽10的内侧安装棒状的加热器11，在加热器11上方配置加热器盖12，并引出一对排气管13、13，该排气管13向上至提升槽10的上方并向外部排出气体。在提升槽10的底面连接供水管14，并由后述的供水系统供给超净水。排水管21与排水槽20的下部连接，并且与由循环泵、转换阀等构成的供水控制装置22相连接。

主权项

1.一种提升式干燥方法，把部件沉入水槽内，通过把该部件从所述水槽向上提升来使所述部件干燥，其特征在于：通过所述水槽进行排水；对所述排出的水的纯度监视后，使其在所述水槽内循环，或者排出且根据需要把纯水导入所述水槽。