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发明名称 REMOVING SILICON OXIDE FROM A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 AU2003286795(A1) 申请公布日期 2004.06.23
申请号 AU20030286795 申请日期 2003.10.31
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 JOHN, L., JR. EDWARDS;YONG LIANG;YI WEI;ZHIYI YU;XIAOMING, HU;JAMES, B. CRAIGO;RAVINDRANATH DROOPAD
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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